Page 10 - CORE-AOMD Vol.3

사업 | Business

2 연구장비 구축지원 사업

연구장비구축 지원사업은 핵심연구지원센터(Core-facility) 사업을 운영하고 있는 센터의 인프라 확충을 위하여 연구장비
구축비를 지원하는 사업입니다.

•사업기간 : 2021년 7월 1일 ~ 2022년 6월 30일(12개월)
•구축 장비
고효율 다중 공증착기(Multiple co-evaporator with high efficiency)

•제조사 : 대기하이텍

•용도
▶ Top emission용 소자 제작 및 평가
- 다양한 적층구조의 전면발광 소자 제작
▶ 유기재료 4 성분계 이상 동시 증착 가능
▶ 금속재료 2 성분계 이상 동시 증착 가능
▶ Multi-mask system 적용으로 9종류 소자 동시 제작 연구
- multi-mask를 이용한 동시 증착 두께 조절
- 증착 조건 변경에 따른 소자 제작 효율성 개선
▶ 다양한 광전소재들의 종합 성능 평가용 Integrated Device 설계 및 제작
- OLED, QLED, PeLED, 용액공정 소자 등
▶ 광전 평가용 integrated device의 성능평가 및 개별 소재 간의 상호작용 조사
▶ 소자 성능 향상을 위한 코팅, 노광, 플라즈마 처리 및 encapsulation 공정
▶ 연구자 주문형 테스트 소자 제작

•주요 사양 및 특징
▶ Deposition Uniformity in 100 mm × 100 mm Wafer : ±3 % : Camera Leaner Motion unit : Z-Motion, 2set
-7
▶ Ultimate Vacuum Pressure: Less than 5 ×10 Torr : Image Capture system
▶ Organic Evaporation System ▶ Metal Evaporation System
- Process chamber : 800 mm × 800 mm × 800(H), Inside - Process chamber : 320 mm × 320 mm × 450(H), Inside
- High vacuum Cryo pump - High vacuum turbo pump
- Mask loading unit : Size : 100 mm × 100 mm mask 9ea 장착 - Loading unit : Size : 100 mm × 100 mm
- Effusion cell for organic source : 13set - Metal source unit (tungsten boat) : 3set
- High temp.effusion cell for organic source : 2set - Source auto feeding unit (tungsten boat) : 1set
- Film thickness controller : 8set - High temp.effusion cell for organic source : 2set
- Thin film thickness monitor for substrate : 4set - Film thickness controller : 4set
- Pattern Aligner ▶ Glove Box system
: Alignment accuracy: Vision alignment < ±5 um - size : 2000 mm × 780 mm × 840(H), 2인용
: θ Stage 반복정밀도: < 2 um - Purification(Glove Box) : H 2 O < 0.1 ppm, O 2 < 0.1 ppm
: Vision CCD Camera and Lens, LED Lamp : 1380 × 1035 - Dispensing unit/UV Curing unit/Spin coating unit
이상의 해상도
•원리
진공 증착 방식에 의한 유기 박막 제조 및 OLED 소자 제작

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