진공증착장비

PVD, CVD 방식으로 metal이나 유기막, 투명전극 등을 증착함.

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  투명전극 증착기

  target 물질을 증착하는 장비

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  플렉시블 OLED용 진공증착기

  열증착법을 이용하여 유기물 및 금속을 진공증착하기 위한 장비

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  칼슘증착기

  열증착을 통한 metal 박막 형성

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  플라즈마 화학기상 증착기

  TFT소자 제작을 위한 다양한 물질의 증착공정에 이용되며, 플렉시블 디스플레이의 기재필름인 다양한 플라스틱 재료의 Barrier막 코팅 공정 및 OLED 소자의 Encapsulation 성능 개선을 위한 공정에 이용된다.

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  고효율 다중 공증착기

  열증착을 통한 유기물 및 metal 박막을 형성하고 Bottom/Top Emission OLED 소자 제작이 가능하다

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