Cantilever를 이용하여 원자 간에 작용하는 척력과 인력의 작용(van der waals force)에 의해 다양한 반도체 소재 및 박막의 표면 분석에 활용된다.    표면의 마찰력과 같은 물리적 표면 특성 뿐만 아니라 bias를 인가하여 전기적인 표면 특성을 분석할 수 있다.

1) Contact mode AFM (접촉식) 

2) Tapping mode AFM (비접촉식) 
 

1. mode : contact, non-contact, EFM, Conductive AFM
2. Sample Size
 - Up to 150 mm diameter
 - Up to 12 mm thick