- 샘플이 놓인 스테이지가 움직임에 따라 Stylus tip이 시료 표면을 scan하면서 코팅된 박막의 두께, 표면거칠기 등의 시료의 표면 특성 분석

- 접촉식 scan방식 : Stylus tip 의 움직임 → 전자석의 변화 → 전기장의 변화 → 두께, 표면 거칠기로 환산

1) 표면 단차 측정  

2) 표면 조도 측정
 

1. Scan Length Range: 50 um to 55 mm 

2. Vertical Measurement Range: 524 um maximum( 1mm maximum optional) 

3. Stylus Replacement: Exclusive quick-change 

4. Stylus Force: Programmable stylus force from 1-15 mg