저진공 SEM  

저진공 SEM은 일반적인 SEM보다 시료실 내부 압력이 높은 분위기에서 동작하는 SEM이다. 수~수백 Pa의 진공도 매우 높은 압력상태에서 분석이 진행된다. 이처럼 시료실 압력을 높게 하여 전처리를 생략하고 절연체 시료를 비파괴적 방법으로 신속하게 관찰하는 것이 가능하며 또한 관찰 중에 시료의 수분이나 유분이 증발하는 것을 억제할 수 있다.   

Charge up 현상 저감  

 시료실의 압력이 높아지면 전자의 평균 자유 경로가 짧아지며 입사 전자와 후방산란전자가 잔존 가스와 충돌하여 이를 이온화한다. 이온화로 발생한 플러스 이온이 시료표면에 대전되어 있는 마이너스 전하로 이끌려 이동하며, 마이너스 전하가 중화된다 저진공 SEM은 이러한 메커니즘으로 Charge up 현상을 저감시켜 절연체 시료를 직접 관찰할 수 있게 한다.   

 저진공 분위기에서는 입사전자가 잔존가스 분자와 충돌 및 산란하여 전자선의 강도가 저하되어 폭 넓은 확산을 가진다. 이렇게 넓어진 영역에서 나오는 정보는 시료의 미세구조를 대부분 반영하지 못하고 노이즈원인이 되기때문에, 저진공 SEM 에서는 가스 분자와 충돌하지 않고 시료 표면에 도달한 전자만으로 시료 이미지가 형성됩니다. 따라서 좋은 이미지를 얻기 위해서 보다 높은 프로브 전류가 필요하므로 높은 해상도를 요구하는 미세구조 관찰은 어렵다.  

Principle of Low-vacuum Observation 
 

1. Magnification : ×15 ~ ×30,000 

2. Accelerating voltage : 5 kV, 15 kV 

3. Observation mode : Standard mode, charge up reduction mode 

4. sample stage traverse : X, Y 0 to 17.5 mm 

5. Maximum specimen size : 70 mm dia. × 50 mm height