캔틸레버를 이용하여 원&\\\#8203;자간에 작용하는 척력과 인력의 작용에 의해 다양한 반도채 소재 및 박막의 표면분석에 활용

표면의 마찰력과 같은 물리적 표면 특성 뿐만 아니라 bias를 인가하여 전기적인 표면 특성 분석 가능

1) EFM(tapping mode, contact mode)

-표면전위, 표면전하, 유전상수 등 샘플의 전기적 특성을 측정하는 모드

-샘플-탐침 간 교류/직류 전압을 걸어 전기적 특성을 측정

2) KPFM 

-표면 일함수를 측정하는 모드

-샘플-탐침 간 교류/직류 전압을 걸어 전기적 특성을 측정 

  ① XY scanner : 100 ㎛ x 100 ㎛

  ② Z scanner : 25 ㎛

  ③ Sample size : up to 100 mm

  ④ Thickness : up to 20 mm

  ⑤ Field-of-view : 480 x 360 ㎛

  ⑥ mode : EFM, KPFM, DC-EFM