필름 혹은 박막의 10⁴ ~ 10¹³ [Ω] 범위의 저항 측정에 활용된다.

Ring probe를 이용하여 sheet 형태로 된 재료의 표면 저항 및 체적 저항을 측정할 수 있다.

저항 (Resistance, R / 단위 : [Ω])

옴의 법칙에 따르면 두 점 사이의 도체를 통한 전류(I)는 두 점 사이의 전위차(V)에 비례하고, 두 점 사이의 저항(R)에 반비례한다.

R [Ω] = V [V] / I [A]

저항률 보정 계수 (Resistivity Correction Factor, RCF)

저항은 probe를 샘플 표면에 접촉하여 측정한다. 체적 저항률 및 표면 저항률은 샘플의 유형, 형태, 크기 및 측정 지점에 의해 결정된 저항률 보정 계수에 저항을 곱하여 계산한다. 전기 공학에서 사용되는 공식인 포아송 방정식으로 정확하게 계산할 수 있다.

Poisson‘s Equation ∇²Φ(r) = 2ρ_vI {δ(r - rD) - δ(r - rA)}

표면 저항 (Surface Resistivity, ρ_s / 단위 : Ω/□, Ω/sq.)

단위 면적 당 저항으로 표면 저항 혹은 시트 저항이라고 표현하며, 도장막, 박막 등의 분야에서 사용되고 있다. 특히 표면 저항은 환산하기 전의 저항과 혼동하는 경우가 있으므로 주의가 필요하다.

ρ_s [Ω/□] = R [Ω] · RCF_s

체적 저항 (Volume Resistivity, ρ_v / 단위 : [Ω·cm])

단위 체적 당 저항으로 재료 분야에서는 체적 고유저항, 전자 분야에서는 비저항, 물리 분야에서는 저항률 등으로 분야에 따라서 다르게 표현되지만, 물질 고유의 특성으로 수많은 재료의 전도성에 대한 절대적인 척도로서 사용되고 있다.

ρ_v [Ω·cm] = R [Ω] · RCF_v · t [cm]    (t : 샘플 두께)