필름 혹은 박막의 10^-3~10⁷ 범위의 저항 측정에 활용된다. 4pin 탐침을 이용해 sheet 형채로 된 재료의 면저항 및 체적저항, 전기 전도도를 산출하는데 사용하며 측정한 값에서 unit을 변경하여 다른 항목들을 자동으로 산출 할 수 있다. 4탐침법은 시료에 4개의 핀으로 된 전극을 직선상에 놓고 양 끝의 2탐침(A와 D)사이에 일정 전류를 흘리고 안쪽의 2탐침(B와 C)사이에 발생하는 전위차를 측정하여 저항을 구한다.   

저항 (Resistance, R 단위:Ω) 

옴의 법칙에 따른면 두점 사이의 도체를 통한 전류(I)는 두 점 사이의 전위차(V)에 비례하고, 두 점 사이의 저항(R)에 반비례한다.  

저항률 보정 계수 (Resistivity Correction Factor, RCF)  

체적 저항률 및 표면 저항률은 샘플의 유형, 형태, 크기 및 측정 지점에 의해 결정된 저항률 보정계수에 저항을 곱하여 계산한다. 전기 공학에서 사용되는 공식이 포아송 방정식으로 정확하게 계산할 수 있다.  

Poisson's Equation : ∇²Φ(r)2ρv I[δ(r-rD)-δ(r-rA)]  

체적저항 (Volume Resistivity, ρ_v 단위 :Ω·cm)  

단위 체적 당 저항으로 재료 분야에서는 체적 고유저항, 전자 분야에서는 비저항, 물리 분야에서는 저항률등으로 분야에 따라서 표현이 다르지만 물질 고유 물리량으로서 수많은 재료의 도전성의 절대적인 척도로서 사용되고 있다.  

ρ_v [Ω/sq]= R[Ω]·RCFv·t[cm], t: 샘플 두께  

표면저항 (Surface Resistivity,ρ_s, 단위 : Ω/□, Ω/sq)  

단위 면적 당 저항으로서 시트 저항 혹은 표면 저항이라고 불리우며, 도장막, 박막 등의 분양에서 사용되고 있습니다. 특히 표면 저항은 환산하기 전의 저항과 혼동하는 경우가 있음으로 주의가 필요하다.

ρ_s [Ω/sq]= R[Ω]·RCFs  

전기전도도 (Conductivity, σ 단위 : S/cm)  

체적 저항과 반비례한다. σ =1/ρ_v   

*샘플준비

 샘플은 가로 혹은 세로길이가 최소 3cm이며, 10cm 이상으로 준비해야 3point 이상 측정가능.  

 두께가 균일하고 샘플이 평평해야 정확한 값을 측정할 수 있음.