1. 레이저 입사 : Prism의 바닥 면에서 전반사가 일어난다.

2. 특정 각도에서 입사되는 레이저 : Prism과 Sample 사이의 감쇄파가 필름 내부로 전이된다.

3. Sample의 두께와 굴절률을 한 번에 측정한다.

    - 광의 결합은 프리즘 내부의 전파상수의 평행성분과 박막 재료의 고유 전파상수 평행성분이 같을 때 최대로 일어난다.

장점

측정 가능한 두께의 범위가 비교적 넓음.

사용하는 광원의 편광 상태에 따라 박막 내의 굴절률의 방향성을 알 수 있음.

단점

꺼짐계수를 측정할 수 없으며, 프리즘보다 박막의 굴절률이 크면 측정이 불가능.

박막이 충분히 두꺼워서 2개 이상의 광도파 모드가 가능해야 함.

박막이 손상될 위험이 있음.

1. Index range : 1.0 < n < 2.45

2. Index Accuracy : ±0.001

    Index Resolution : ±0.0003

3. Contact area between Film and Prism : 8 mm x 8 mm

4. Spot size of measurement : 1 mm diameter

5. Optical laser : 404 / 532 / 632.8 / 829 nm

6. 측정시편 type : Thin Film(> 1 μm), Bulk (< 1.1 mm)

7. 측정항목 : 굴절률, 복굴절률, 두께방향 굴절률, Abbe No.

Single Film 측정화면

Bulk 측정화면