- MCPD를 검출기로 하여 지정된 파장에서 정확한 위상차를 측정합니다.

- 기울임/회전 스테이지를 이용한 R_th 파라미터를 분석합니다.

- 요구에 맞춰 샘플 스테이지의 사양 변경이 가능합니다.

- 0.1 m 이상의 미세 위상차를 정밀하게 측정할 수 있습니다.

- 비파괴 검사로 다층 시료에 대한 각 층의 위상차와 축을 측정할 수 있습니다.

1. 측정항목: 위상차, 위상차의 파장 분산도, 샘플 틸트 앵글, 방위각, 타원도, 편광 측정 등

2. 측정면적: Φ 2 mm, Φ 5 mm

3. 측정범위: 위상차 측정 - 1 nm 이상

                     타원편광측정 - 접합각은 25 ~ 65도