공정장비

켈빈프로브

Kelvin Probe

모델명 :
SKP5050
제조사 :
KP Tech. Ltd.
담당자 :
정은하
ehjeong@khu.ac.kr / 031-201-3295
담당자 :
최해민
chm22@khu.ac.kr / 031-201-3295

장비용도

프로브 팁과 샘플 사이의 전위차를 이용하여 상대 일함수값을 측정함 (mapping 가능)

두 개의 물질을 매우 근접하게 위치시키고 두 전극 사이에 외부 전기 접촉이 이루어지면, 두 물질 사이의 charge로 인해 fermi level은 같아지고 vacuum level의 차이가 발생하게 된다. 이 때 외부적인 바이어스 전압을 두 전극 간에 걸어주게 되면 전기장이 사라지며 null 상태가 되고, 바이어스 전압의 크기는 Contact Potential Difference가 된다. 

일함수를 알고 있는 reference 물질(Au)을 이용하여 Tip의 일함수를 측정하고, 이것을 이용하여 샘플의 일함수를 계산할 수 있다. 

 

1. Kelvin Probe head unit with integral tip amplifier and 2mm gold tip

2. Workfunction resolution : 1~3 mV

3. Scanning system : 50 × 50 mm, height : 25.4 mm

4. Standard Sample Stage : Automatic (mapping) x-y-z stage with auto focus

 

샘플의 형태는 금속박막, film이나 glass위에 코팅된 형태로 가능합니다. 

Film size : 10 × 10 ~ 30 × 30 mm  

 

https://www.youtube.com/watch?v=IkwgYDExssk