1. Work Size: 8" x 8" 

2. 기판고정: Vacuum 흡착 

3. Depth: 1/100 mm 설정 

4. Stage 고정: Magnetic System 

5. Stage 이동 Speed: Digital설정, Digital표시, Servo제어 

6. Stage 구동: AC Servo Motor 

7. Roll 회전수: 2000 RPM 

8. 정밀도 :  Roll회전 흔들림: ± 20 μm 이내 

                 Table평면도: ± 15 μm 

                 Roll 평행도: ±15 μm이내 (대 Table) 

                 Roll 주행: ±15 μm이내 (대 Table) 

                 Work 위치결정: ±15 μm이내