공정장비
패턴검사현미경
Pattern Measuring Microscope
- 모델명 :
- STM6
- 제조사 :
- 올림푸스
- 담당자 :
- 라해진
mocona777@khu.ac.kr / 031-201-3295 - 담당자 :
- 소문정
speercow@khu.ac.kr / 031-201-3296
장비용도
Photolithography 공정 후 형성된 전극 패턴 및 결함 등을 정밀하게 관찰하여 검사
- Stage size : 100 × 100 ㎜
- Stage type : 360-dedree rotation
- Objective Lens : 5x, 10x. 20x
