1. Substrate Size : 370 X 470 mm
2. Cutting Tolerance : 100 μm
3. Pattern 기억수 : 30 종류 이상
4. Scribe 이동 Speed : 5∼450 mm/sec
5. Scribe 횟수 : 각 면 50 개
6. Cutter Head 수량 : 1 EA
7. Auto Alignment
8. Film 고정 : Vacuum
9. Stage 평탄도 : ±2/100 mm
10. Work 회전 : DD Motor 사용