공정장비

기판세정기

Substrate Cleaning Equipment

모델명 :
SDCLKH01
제조사 :
신도기연(대한민국)
담당자 :
정은하
ehjeong@khu.ac.kr / 031-201-3295
담당자 :
최해민
chm22@khu.ac.kr / 031-201-3295

장비용도

기판상의 불순물 제거

1. Work Size: 6” X 6” 

2. Rinse: DI Shower, QDR, N2 Bubble

3. Ultrasonic, Mega Sonic System