기판전처리

기판 세정 및 표면처리(플라즈마, O2)

• 

  플라즈마 클리너

  Plasma 방전을 이용하여 기판의 유기 이물질 제거 및 기판의 표면처리에 이용

  자세히보기
• 

  유리기판절단기

  디스플레이 기판 및 소자 절단

  자세히보기
• 

  기판세정기

  기판상의 불순물 제거

  자세히보기