시료의 표면 roughness 측정
주사탐침현미경
유기, 고분자 및 무기 시료 등 다양한 시료의 표면 형상 분석을 통한 거칠기 분석
표면단차측정기
박막의 두께 측정 및 모폴로지 (Morphology) 관찰
원자측정현미경
반도체 소재 및 박막의 표면 형상 이미지 (2D, 3D)와 거칠기, 전기적 특성(amplitude, phoas, contact potential) 등을 측정