그래픽 스핀코터
표면 개질 및 특성 향상을 위해 다양한 크기와 종류의 기판(Glass, film 등) 위에 스핀 방식을 이용하여 스핀 rpm을 설정하여 유기박막(배향액, Photo-resist 등)을 도포하는데 사용
마스크 얼라이너
Photolighthography 공정에서 기판에 감광액을 도포한 이후 mask를 사용하여 UV을 조사하여 원하는 전극 pattern을 형성하는데 사용
스핀디벨로퍼
Glass 기판 혹은 silicon wafer 등의 thin film 위에 코팅/노광된 photo resist를 spray-puddle 방식으로 현상액을 이용하여 UV와 반응한 노광영역과 노광되지 않은 영역을 선택적으로 제거하고 rinse하는 장비
습식식각장비
현상된 기판의 잔여 ITO를 wet etching으로 제거하는 장비
패턴검사현미경
Photolithography 공정 후 형성된 전극 패턴 및 결함 등을 정밀하게 관찰하여 검사
